фильтры для очистки воды

Заглавная страница Карта сайта Контакты Московский завод «Мембранная техника и технология» (МТТ)
Бытовые фильтры
для квартиры
для дачи
для загородного дома
для коллективных систем очистки воды
для ЖКХ

Бытовые фильтры и цены
(информационный сайт mtt-filter.ru)



Промышленные фильтры
для пищевой промышленности
для ликероводочной промышленности
для теплоэнергетики
для электронной промышленности
для других отраслей
емкости из нержавеющей стали
аэрационные комплексы
нестандартное оборудование
Медицинское оборудование
установки получения воды для инъекций УВИ-0,15
системы хранения воды очищенной и для инъекций
Линия получения, хранения и распределения воды очищенной и для инъекций
установки получения деионизованной воды Ключ-МД
аппараты для стерилизующей фильтрации
системы водоподготовки
Внимание!Главная › Внимание!Фильтры для очистки воды (по области применения) › Внимание!Промышленные фильтры для очистки воды › фильтры очистки воды для электронной промышленности

Водоподготовка для микроэлектроники

Фильтры для электронной
промышленности

Системы очистки воды для микроэлектроники комплектуются с учетом требований соответствующих международных стандартов и состава исходной водопроводной воды. В Стандарте D5127-90 на воду для электроники Американского общества измерений и материалов (ASTM)предусмотрено четыре типа воды, в зависимости от размера полупроводниковых микроэлементов, в производстве которых она используется:

тип Е-1- ультрачистая вода для элементов размером менее 1 мкм,

тип Е-2 - для элементов размером от 1 до 5 мкм,

тип Е-3 - для элементов рзмером более 5 мкм,

тип Е-4 -для производства электронных плат общего назначения, где возможно промежуточное хранение подготовленной воды в атмосферных емкостях.

Требования к воде изложены в таблице

Тип воды

Е-1

Е-2

Е-3

Е-4

Сопротивление, МОм-см

18

(95% времени),

не менее 17

17,5

(90% времени),

не менее 16

12

0,5

SiO2, мг/л, не более

5

10

50

1000

Частиц на мл

1

3

10

100

Максимальный размер частиц, мкм

1

3

10

100

Репродуктивная микрофлора, не более

1 /1000 мл

10/1000 мл

10/мл

100/мл

Общий органический углерод, мкг/л,

не более

25

50

300

1000

Пирогены,

ед. эн./мл

0,03

0,25

Не нормир.

Не нормир.

Медь, мкг/л, не более

1

1

2

500

Хлориды, мкг/л, не более

1

1

10

1000

Никель, мг/л, не более

0,1

1

2

500

Нитраты, мг/л, не более

1

1

5

500

Фосфаты, мг/л, не более

1

1

5

500

Калий, мкг/л, не более

2

2

5

500

Натрий, мкг/л, не более

0,5

1

5

1000

Сульфаты, мг/л, не более

1

1

5

500

Цинк, мкг/л, не более

0,5

1

5

500

Фильтры для электронной
промышленности

Оборудование в системах водоподготовки для микроэлектроники можно условно разделить на три группы:

- станция предочистки,

- основной блок,

- финишная полировка.

Между второй и третьей группами в некоторых системах устанавливается станция хранения и распределения подготовленной воды.

В самом общем случае станция предочистки состоит из фильтра, задерживающего механические примеси, марки Сапфир П с кварцевым песком и гравием, фильтра с активированным углем Сапфир А для удаления активного хлора, органических комплексов, снижения коллоидного индекса, цветности.

Мешочный микрофильтрационный аппарат марки Ключ ТМ с отсечкой 5…10 мкм – финишный фильтр станции.

В зависимости от состава исходной воды сочетание обратного осмоса и ионообмена на Н-ОН ионитах может быть оптимальным для комплектации основного блока получения ультрачистой воды. Здесь используются одноступенчатые обратноосмотические установки серии Ключ-М или двухступенчатые по пермеату установки серии УВИ-0,15 и ионообменные аппараты с регенерацией ионообменных смол или без серии Сапфир У(H)А, Сапфир У(OH)А или Сапфир У(H), Сапфир У(OH), соответственно. В случае использования двухступенчатого обратного осмоса ионообменные фильтры могут устанавливаться между ступенями

На каждой стадии очистки проточные приборы-кондуктометры регистрируют состав воды и управляют переходными процессами.

Для хранения очищенной воды перед финишной полировкой применяются закрытые герметичные емкости, из которых вода передавливается пневматически, или атмосферные емкости с дыхательным 0,2 мкм фильтром и циркуляционной петлей с ультрафиолетовым стерилизатором.

Для получения воды типов Е1, Е2, Е3 (См. таблицу) обязательно присутствует стадия финишной полировки, где применяются ионообменные фильтры со смешанной Н-ОН смолой серии Сапфир УКА и стерилизующие микрофильтрационные или апирогенные ультрафильтры серии Ключ ТС.

Технологическая схема установок для микроэлектронной промышленности

(495) 381-22-11../.. (495)381-41-65

Инженер-технолог: 3812211@mail.ru



Сезонные скидки
(495) 381-22-11

(495) 381-64-74