фильтры для очистки воды

Водоподготовка для микроэлектроники

Системы очистки воды для микроэлектроники комплектуются с учетом требований соответствующих международных стандартов и состава исходной водопроводной воды. В Стандарте D5127-90 на воду для электроники Американского общества измерений и материалов (ASTM)предусмотрено четыре типа воды, в зависимости от размера полупроводниковых микроэлементов, в производстве которых она используется:

тип Е-1- ультрачистая вода для элементов размером менее 1 мкм,

тип Е-2 - для элементов размером от 1 до 5 мкм,

тип Е-3 - для элементов рзмером более 5 мкм,

тип Е-4 -для производства электронных плат общего назначения, где возможно промежуточное хранение подготовленной воды в атмосферных емкостях.

Требования к воде изложены в таблице

Тип воды	Е-1	Е-2	Е-3	Е-4
Сопротивление, МОм-см	18 (95% времени), не менее 17	17,5 (90% времени), не менее 16	12	0,5
SiO2, мг/л, не более	5	10	50	1000
Частиц на мл	1	3	10	100
Максимальный размер частиц, мкм	1	3	10	100
Репродуктивная микрофлора, не более	1 /1000 мл	10/1000 мл	10/мл	100/мл
Общий органический углерод, мкг/л, не более	25	50	300	1000
Пирогены, ед. эн./мл	0,03	0,25	Не нормир.	Не нормир.
Медь, мкг/л, не более	1	1	2	500
Хлориды, мкг/л, не более	1	1	10	1000
Никель, мг/л, не более	0,1	1	2	500
Нитраты, мг/л, не более	1	1	5	500
Фосфаты, мг/л, не более	1	1	5	500
Калий, мкг/л, не более	2	2	5	500
Натрий, мкг/л, не более	0,5	1	5	1000
Сульфаты, мг/л, не более	1	1	5	500
Цинк, мкг/л, не более	0,5	1	5	500

Оборудование в системах водоподготовки для микроэлектроники можно условно разделить на три группы:

- станция предочистки,

- основной блок,

- финишная полировка.

Между второй и третьей группами в некоторых системах устанавливается станция хранения и распределения подготовленной воды.

В самом общем случае станция предочистки состоит из фильтра, задерживающего механические примеси, марки Сапфир П с кварцевым песком и гравием, фильтра с активированным углем Сапфир А для удаления активного хлора, органических комплексов, снижения коллоидного индекса, цветности.

Мешочный микрофильтрационный аппарат марки Ключ ТМ с отсечкой 5…10 мкм – финишный фильтр станции.

В зависимости от состава исходной воды сочетание обратного осмоса и ионообмена на Н-ОН ионитах может быть оптимальным для комплектации основного блока получения ультрачистой воды. Здесь используются одноступенчатые обратноосмотические установки серии Ключ-М или двухступенчатые по пермеату установки серии УВИ-0,15 и ионообменные аппараты с регенерацией ионообменных смол или без серии Сапфир У(H)А, Сапфир У(OH)А или Сапфир У(H), Сапфир У(OH), соответственно. В случае использования двухступенчатого обратного осмоса ионообменные фильтры могут устанавливаться между ступенями

На каждой стадии очистки проточные приборы-кондуктометры регистрируют состав воды и управляют переходными процессами.

Для хранения очищенной воды перед финишной полировкой применяются закрытые герметичные емкости, из которых вода передавливается пневматически, или атмосферные емкости с дыхательным 0,2 мкм фильтром и циркуляционной петлей с ультрафиолетовым стерилизатором.

Для получения воды типов Е1, Е2, Е3 (См. таблицу) обязательно присутствует стадия финишной полировки, где применяются ионообменные фильтры со смешанной Н-ОН смолой серии Сапфир УКА и стерилизующие микрофильтрационные или апирогенные ультрафильтры серии Ключ ТС.

Технологическая схема установок для микроэлектронной промышленности