• 2.jpg
  • 3.jpg
  • 4.jpg
  • 5.jpg
  • 11.jpg

Водоподготовка для микроэлектроники

stanciaСистемы очистки воды для микроэлектроники комплектуются с учетом требований соответствующих международных стандартов и состава исходной водопроводной воды. В Стандарте D5127-90 на воду для электроники Американского общества измерений и материалов (ASTM)предусмотрено четыре типа воды, в зависимости от размера полупроводниковых микроэлементов, в производстве которых она используется:

  • тип Е-1- ультрачистая вода для элементов размером менее 1 мкм,
  • тип Е-2 - для элементов размером от 1 до 5 мкм,
  • тип Е-3 - для элементов размером более 5 мкм,
  • тип Е-4 -для производства электронных плат общего назначения, где возможно промежуточное хранение подготовленной воды в атмосферных емкостях.

Тип воды

Е-1

Е-2

Е-3

Е-4

Сопротивление, МОм-см

18 (95% времени), не менее 17

17,5 (90% времени), не менее 16

12

0,5

SiO2, мг/л, не более

5

10

50

1000

Частиц на мл

1

3

10

100

Максимальный размер частиц, мкм

1

3

10

100

Репродуктивная микрофлора, не более

1 /1000 мл

10/1000 мл

10/мл

100/мл

Общий органический углерод, мкг/л, не более

25

50

300

1000

Пирогены, ед. эн./мл

0,03

0,25

Не нормир.

Не нормир.

Медь, мкг/л, не более

1

1

2

500

Хлориды, мкг/л, не более

1

1

10

1000

Никель, мг/л, не более

0,1

1

2

500

Нитраты, мг/л, не более

1

1

5

500

Фосфаты, мг/л, не более

1

1

5

500

Калий, мкг/л, не более

2

2

5

500

Натрий, мкг/л, не более

0,5

1

5

1000

Сульфаты, мг/л, не более

1

1

5

500

Цинк, мкг/л, не более

0,5

1

5

500

Оборудование в системах водоподготовки для микроэлектроники можно условно разделить на три группы:Станция получения ультрачистой воды с промежуточным хранением

  • станция предочистки,
  • основной блок,
  • финишная полировка.

Между второй и третьей группами в некоторых системах устанавливается станция хранения и распределения подготовленной воды.

Установка электродеионизации ЭДИ-200В самом общем случае станция предочистки состоит из фильтра, задерживающего механические примеси, марки Сапфир П с кварцевым песком и гравием, фильтра с активированным углем Сапфир А для удаления активного хлора, органических комплексов, снижения коллоидного индекса, цветности. Мешочный микрофильтрационный аппарат марки Ключ ТМ с отсечкой 5…10 мкм – финишный фильтр станции.

В зависимости от состава исходной воды сочетание обратного осмоса и ионообмена на Н-ОН ионитах может быть оптимальным для комплектации основного блока получения ультрачистой воды в станциях водоподготовки малой производительности. Здесь используются одноступенчатые обратноосмотические установки серии Ключ-М или двухступенчатые по пермеату установки серии УВИ-0,15 и ионообменные аппараты с регенерацией ионообменных смол или без серии Сапфир У(H)АСапфир У(OH)А или Сапфир У(H)Сапфир У(OH), соответственно. В случае использования двухступенчатого обратного осмоса ионообменные фильтры могут устанавливаться между ступенями. Если потребность в ультрачистой воде 1000 л в сутки и более, экономически целесообразно использовать вместо ионообменных засыпных фильтров установки электродеионизации ЭДИ-100,…,ЭДИ-5000, производительностью от 100 до 5000 л/час, соответственно.

На каждой стадии очистки проточные приборы-кондуктометры регистрируют состав воды и управляют переходными процессами.

Для хранения очищенной воды перед финишной полировкой применяются закрытые герметичные емкости, из которых вода передавливается пневматически, или атмосферные емкости с дыхательным 0,2 мкм фильтром и циркуляционной петлей с ультрафиолетовым стерилизатором.

Для получения воды типов Е1, Е2, Е3 (См. таблицу) обязательно присутствует стадия финишной полировки, где применяются ионообменные фильтры со смешанной Н-ОН смолой серии Сапфир УКА и стерилизующие микрофильтрационные или апирогенные ультрафильтры серии Ключ ТС.

Заявка на оборудование водоподготовки

dogСКАЧАТЬ -->

Заявка на бытовые фильтры -->

 

Для расчёта скачайте "Заявку на оборудование водоподготовки"

Заполните и вышлите нам.

Мы рассчитаем и подберём необходимую конфигурацию под ваши требования и технические параметры

 

Неверный ввод

Неверный ввод

Неверный ввод

Неверный ввод

Неверный ввод

© 2001-2020© МТТ Мембранная Техника и Технология. Все права защищены.
Москва, 1-й Дорожный пр-д, дом 9, 3 этаж, офис 328
Телефоны: (495) 381-22-11, 381-64-74 Телефон/факс: (495) 381-41-65